產(chǎn)品資料

半導(dǎo)體器件分析儀

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體器件分析儀
產(chǎn)品型號: B1500A
產(chǎn)品展商: Agilent
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀(半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/半導(dǎo)體表征系統(tǒng))是器件表征的綜合解決方案


半導(dǎo)體器件分析儀  的詳細(xì)介紹
  • 支持基本的電流-電壓(IV)和電容-電壓(CV)測量以及業(yè)界**的快速脈沖 IV/ 快速 IV / 瞬時 IV 測量,具備極高的測量可靠性
  • 嵌入式 Windows 7 和功能強(qiáng)大的 EasyEXPERT 軟件借助先進(jìn)的圖形用戶界面(GUI),可讓您執(zhí)行高效、深入、數(shù)據(jù)可恢復(fù)的器件表征。
  • 這款*佳表征解決方案可對器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源元件以及任意電氣器件進(jìn)行各種電氣表征和評測。
  • 根據(jù)您的測試需求,模塊化結(jié)構(gòu)可升級至 10 插槽配置。

**的測量能力和極高的測量可靠性
Agilent B1500A 針對基礎(chǔ)和**器件表征提供以下功能。
 

測量功能 主要技術(shù)指標(biāo)/特性 測量模塊
電流/電壓(IV)測量
  • 電源和測量范圍高達(dá) 200 V/1 A
  • *低測量分辨率為 0.1 fA / 0.5 µV
  • 針對基礎(chǔ)和** IV 測量提供點(diǎn)測量、掃描測量等功能
B1511B /B1511B /B1511B  SMU(電源/測量單元)
準(zhǔn)靜態(tài) CV(QS-CV)
  • **的準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓(QS-CV)測量,具有泄露電流補(bǔ)償
采樣測量
  • 采樣(時域)測量間隔為 100 µs
B1510A/B1511A/B1517A SMU(電源/測量單元)
脈沖測量 低至 500 µs
  • 在 500 µs 脈寬、2 μs 分辨率的條件下執(zhí)行脈沖測量
低至 100 ns
  • 適用于脈沖 IV 和瞬時 IV 的超快速 IV 測量功能,例如 NBTI/PBTI、RTN(隨機(jī)電報(bào)信號噪聲)等
  • 脈沖測量,脈寬為 50 μs
  • 電源和測量范圍高達(dá) 30 V / 1 A(0.1 A 直流)
  • 支持示波器視圖
  • 利用 10 ns 編程分辨率生成波形
  • 同時執(zhí)行高速 IV 測量(200 MSa/s,采樣率為 5 ns)
  • 10V 峰峰值輸出
  • 利用動態(tài) SMU 技術(shù),負(fù)載線不會影響脈沖 IV 測量的精度
B1514A 50 µs 脈沖 MCSMU
(中等電流電源/測量單元)
 
低至 10 ns
  • 適用于 高 k/SOI 脈沖 IV 的表征解決方案
  • 選**沖寬度是 10 ns 至 1 µs,上升和下降時間*小值為 2 ns

B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測試解決方案

脈沖生成
  • 高壓輸出可達(dá) ±40 V,適用于非易失存儲器測試
  • 為單通道提供二電平和三電平脈沖
  • 利用 10 ns 分辨率靈活地生成任意波形(任意線性波形生成功能)
  • 每個模塊具有兩個通道
B1525A HV-SPGU(高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元)
交流阻抗(CV)測量
  • 交流阻抗測量(C-V、C-f、C-t)
  • 頻率范圍 1 kHz 至 5 MHz
  • SMU 提供 25 V 內(nèi)置直流偏置和 100 V 直流偏置
  • SCUU 能夠快捷、**地改變 IV 和 CV 自動連接
B1520A MFCMU(多頻率電容測量單元)

在研發(fā)的各個階段中(從探測到自動化)實(shí)現(xiàn)高效、數(shù)據(jù)可恢復(fù)的器件表征
- EasyEXPERT 軟件在嵌入式 Windows 7 中運(yùn)行
- 數(shù)百種測量程序庫在需要時即可使用(應(yīng)用測試)
-15 英寸觸摸屏支持您在器件表征時采取直觀的操作、分析與探測
- 自動數(shù)據(jù)記錄特性支持測試數(shù)據(jù)和測試條件的恢復(fù),可使您輕松地進(jìn)行探測
- 利用曲線追蹤(旋鈕操作)和自動記錄特性來實(shí)現(xiàn)實(shí)時交互表征

-EasyEXPERT 的曲線追蹤儀測試模式通過旋鈕來控制可變掃描,與傳統(tǒng)的曲線追蹤儀類似
-示波器視圖能夠顯示施加到器件中的電壓和電流波形,從而幫助用戶優(yōu)化測試條件、觀察器件的瞬時現(xiàn)象
- 利用便捷的在線/離線測試環(huán)境完成測試開發(fā)與分析,從而*大限度地發(fā)揮儀器效用
 
                                               


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